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球形氟化钇

来源： 湖南威斯康新材料科技有限公司 日期：2020-08-20 16:51:19 点击：1880 属于：行业动态

YF₃
纯度	>99.9%
松装密度	1.43-1.50g/cm³
粒径	D50：20—60μm（可控）
特性	流动性好、结构稳定

特性与应用：具有优良的抗等离子体腐蚀性能，主要用于半导体器件、介电膜蚀刻系统、门蚀刻系统，CVD系统，可用作镀膜材料。

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