球形氟化钇

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球形氟化钇

2020-08-20 16:51:19

YF₃

纯度 >99.9%

松装密度 1.43-1.50g/cm³

粒径 D50：20—60μm（可控）

特性流动性好、结构稳定

特性与应用：具有优良的抗等离子体腐蚀性能，主要用于半导体器件、介电膜蚀刻系统、门蚀刻系统，CVD系统，可用作镀膜材料。

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